RF Matcher
ÃÖ°í È¿À²ÀÇ RF MatcherÀ» Á¦°øÇÕ´Ï´Ù.
RF MARCHERF¶õ?
Matching Network(¸ÅĪ ³×Æ®¿öÅ©)´Â ÀÓÇÇ´ø½º ÀÚµ¿Á¤ÇÕ ÀåÄ¡·Î ¹ÝµµÃ¼ Àü °øÁ¤(Etch,CVD)µî RF Generator¿¡¼ ¹ß»ýÇÏ´Â °íÁ֯ď¦ ÀÌ¿ë Chamber¿¡¼ °íǰÁúÀÇ Plasma°¡ ¹ß»ýµÉ ¼ö ÀÖµµ·Ï ChamberÀÇ 50¿È ÀÓÇÇ´ø½º¸¦ ÀÚµ¿À¸·Î Á¶ÀýÇÏ´Â ÀåºñÀ̸ç, Vacuum Capacitor¸¦ »ç¿ëÇÏ¿© ¹Ý»çÆÄ¾ø´Â °íǰÁúÀÇ Plasma¸¦ ¹ß»ý½ÃŰ´Â ÀåºñÀÔ´Ï´Ù.
RF Matcher
¹ÝµµÃ¼ ¹× µð½ºÇ÷¹ÀÌ °øÁ¤ÀÇ Plasma System¿¡¼ Chamber¿Í RF Power SourceÀÇ ÀÓÇÇ´ø½º¸¦ ½Ç½Ã°£À¸·Î Á¤ÇÕÇÏ¿© ÃÖ´ë Àü·ÂÀ» Àü´ÞÇØ ÁÖ´Â ÀåÄ¡ÀÔ´Ï´Ù. À¯ºñ½ºÀÇ Matcher´Â È¿À²ÀûÀÎ Sensor / Motor Á¦¾î¸¦ ÅëÇØ ºü¸£°í Á¤È®ÇÑ Matching ¹× PowerÀÇ ÃÖ´ë È¿À²À» °í°´¿¡°Ô Á¦°øÇϰí ÀÖ½À´Ï´Ù.
RF Generator
¹ÝµµÃ¼ ¹× µð½ºÇ÷¹ÀÌ Á¦Á¶ °øÁ¤ Áß Plasma¸¦ »ç¿ëÇÏ´Â System¿¡¼ AC°í·ù Àü·ÂÀ» RF°íÁÖÆÄ Àü·ÂÀ¸·Î º¯È¯ÇØÁÖ´Â ÀåÄ¡·Î½á Chamber ³»ºÎ¿¡¼ °øÁ¤¿¡ ÇÊ¿äÇÑ ¹ÝÀÀ °¡½º¸¦ Plasma·Î ¸¸µé¾î ÁÖ±â À§ÇØ Àü·ÂÀ» °ø±ÞÇØÁÖ´Â ÀåÄ¡ÀÔ´Ï´Ù. À¯ºñ½ºÀÇ Generator´Â ¿©·¯ Power / Frequency¸¦ Á¦°øÇϸç, ´Ù¾çÇÑ ±â´ÉÀ» ÅëÇØ ÃÖ°í È¿À²ÀÇ RF Generator¸¦ °í°´¿¡°Ô Á¦°øÇϰí ÀÖ½À´Ï´Ù.